紙 版
副題：原子を操る．先端加工技術の妙を解説
| 出版年月 | 2002年04月 |
|---|---|
| ISBN | 978-4-87259-125-5 C1350 |
| 判型・頁数 | A5判・86ページ |
| 定価 | 本体1,000円（税込1,100円） |
| 在庫 | 在庫僅少 |
石器づくりから始まった加工技術は、いま、原子を操るまでにいたった。先端加工技術の妙を解説。
"はじめに
第一章平らな平面に挑む−原子スケールで平滑な表面を創成する−
第二章機能する薄膜を作る−高機能を超高速で−
第三章究極の電子ディバイスをめざして
第四章物の表面を見る−物づくりのための表面計測−
第五章原子操作によるナノファブリケーション
第六章コンピューターの中での物づくり−加工現象のコンピューターシュミレーション−"
森勇藏（モリ ユウゾウ）
大阪大学大学院工学研究科教授
